扩散泵电磁加热器

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    真空镀膜的设备需进行加热才能工作,原来加热方式采用电炉盘进行间接加热,该加热方式为外加热方式,存在热传递效率低、散热快、加热速度慢,导致能耗高、设备环境温度高、设...[详细]

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